微光學(xué)元件加工方法

　　由于受應(yīng)用需求的驅(qū)動，對微光學(xué)元件加工技術(shù)的研究也在不斷深入，出現(xiàn)了多種現(xiàn)代加工技術(shù)，如電子束寫技術(shù)、激光束寫技術(shù)、光刻技術(shù)、蝕刻技術(shù)、LIGA技術(shù)，復(fù)制技術(shù)和鍍膜技術(shù)等，其中最為成熟的技術(shù)是蝕刻技術(shù)和LIGA技術(shù)。

　　這些技術(shù)基本都是從微電子元器件的微細加工技術(shù)發(fā)展而來，但與電子原件不同，三維成型精度和裝配精度對光學(xué)元件來說是至關(guān)重要的，將會直接影響其性能，因此這些方法各自都有它自身的缺陷和使用的局限性。如由于視場深度的限制，光刻技術(shù)僅限于二微結(jié)構(gòu)和小深寬比三維結(jié)構(gòu)的加工;采用犧牲層蝕刻技術(shù)，雖然可以實現(xiàn)準三維加工，但易使材料產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力，影響最終的機械性能，且設(shè)備造價非常昂貴;LIGA技術(shù)利用的高準直度的X射線光源，一般要通過同步輻射加速器得到，造價比光刻設(shè)備還要高許多，一般實驗室和企業(yè)都很難負擔(dān)得起;電子束寫技術(shù)能夠加工納米級的精密結(jié)構(gòu)，但效率低，難以進行批量生產(chǎn)。復(fù)制技術(shù)，包括熱壓成型法、模壓成型法和注射成型法等，是一種適于批量生產(chǎn)的低成本技術(shù)，但要求其模具具有較高精度和耐用性。

　　微光學(xué)元件的另一加工方法是超精密機械加工技術(shù)。最近“財富”雜志上有這樣一句話：“超精密加工技術(shù)對光學(xué)元件的作用猶如當初集成電路對電子元件的作用”。這句話雖然不無夸張，卻說明了用超精密機械加工技術(shù)進行微光學(xué)元件的加工已經(jīng)引起人們極大的重視。超精密機械加工技術(shù)在微光學(xué)元件加工中的應(yīng)用將在下一節(jié)詳細論述。