精密測量技術(shù)新世紀(jì)如何迅速發(fā)展（4）

　　在通常情況下，作為生產(chǎn)現(xiàn)場使用的測量機(jī)具，必須保證在整個(gè)測量過程中具有良好的操作性能，而且必須力求節(jié)省所占用的空間。如三豐公司開發(fā)出一種柔性測量裝置QM-Measure，這是專門為在加工現(xiàn)場測量復(fù)雜形狀而研制的袖珍型三坐標(biāo)測量機(jī)，特點(diǎn)是操作簡便，價(jià)格低廉。

西鐵城公司開發(fā)出一種電動(dòng)測微儀用的小型上置式DTM-C系列，實(shí)現(xiàn)了生產(chǎn)設(shè)備機(jī)械小型化和高精度化，進(jìn)深達(dá)7cm，而體積卻減小了2/3，非常便于安裝在其他生產(chǎn)設(shè)備上使用，該裝置的最小分辨率為0.1μｍ。 　　

　　RENISHAW公司專門為加工中心和車床開發(fā)了一種非接觸式工具檢測系統(tǒng)NC1，這是一種高速非接觸式測量系統(tǒng)，能快速進(jìn)行工具長度、直徑的測量，該系統(tǒng)的特點(diǎn)是可在激光束的任意位置上對(duì)工具進(jìn)行測量，測量范圍0.2～0.8mm，分辨率為1μｍ。NC1系統(tǒng)采用了新型激光技術(shù)，既可保證測頭的精度特性，又便于安裝，且無需作特別的維護(hù)。該系統(tǒng)在正常情況下，其使用壽命可達(dá)100萬次測量。 　　

　　在超精密及半導(dǎo)體零件的檢測等方面，要求測距僅約1nｍ。以往nm級(jí)精度的測量大都依靠激光干涉儀，激光干涉儀是利用光的波長作為測量基準(zhǔn)，光線隨著通過的媒體折射率的不同而變化，因此，進(jìn)行高精度測量時(shí)，還必須進(jìn)行精密的補(bǔ)償。HEIDENHAIN公司開發(fā)出一種高精度高分辨率測長系統(tǒng)LIP382/372，可取代以往的激光干涉儀。該系統(tǒng)的測量基準(zhǔn)是固定的，因此，不易受氣壓、溫度等空氣變化的影響。LIP的刻度尺是在Zerodur玻璃陶瓷上采用TITANID格柵，可以刻出非常細(xì)小的刻度；刻度尺的縱向距離可保持0.5μｍ精度，其重復(fù)精度極高，只需進(jìn)行簡單的補(bǔ)償，在小于1mm距離內(nèi)的測量精度可達(dá)數(shù)nm，而且其信號(hào)非常穩(wěn)定。 　　

　　綜觀當(dāng)前精密測量技術(shù)的發(fā)展?fàn)顩r，有如下一些特點(diǎn)：普遍追求高速、高精度、系統(tǒng)化、網(wǎng)絡(luò)化；為了便于在線測量，各公司正在大力開發(fā)小型化的精密測量裝置；為了增強(qiáng)市場競爭能力，生產(chǎn)廠家均在努力加強(qiáng)質(zhì)量管理，降低生產(chǎn)成本。隨著全球IT產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，精密測量領(lǐng)域也不斷開發(fā)出適應(yīng)IT特點(diǎn)的測量機(jī)產(chǎn)品�？梢灶A(yù)計(jì)，面對(duì)新世紀(jì)的需求，精密測量技術(shù)將進(jìn)一步集約化，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)更為緊湊，操作性能進(jìn)一步提高，自動(dòng)化水平也必將提升到新的檔次。當(dāng)然，各廠家高性能產(chǎn)品之間的競爭也必然更加激烈，誰搶先擁有高精尖的測量技術(shù)，擁有先進(jìn)的管理系統(tǒng)，誰就將在競爭中穩(wěn)操勝券。

本篇文章來源于 “中國金屬加工在線”