精密測(cè)量技術(shù)新世紀(jì)如何迅速發(fā)展（3）

不斷開發(fā)高性能產(chǎn)品 　　

　　需求形勢(shì)的好轉(zhuǎn)，進(jìn)一步激發(fā)了生產(chǎn)企業(yè)開發(fā)新產(chǎn)品的積極性。近年來(lái)，各公司不斷推出高性能的測(cè)量機(jī)產(chǎn)品。在高分辨率方面，前述索尼公司的YP20/21最為突出，該機(jī)是一種超高精度非接觸式形狀測(cè)量機(jī)，其Z軸的分辨率高達(dá)10nm，重復(fù)精度為±30nm。

該公司還生產(chǎn)一種小型激光刻度尺BS77，其分辨率在10nm以下。 　　

　　在形狀精密測(cè)量方面，最近市場(chǎng)上出現(xiàn)了配裝高速高密度掃描測(cè)頭的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，如東京精密公司開發(fā)的CONTURA三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)就匯集了最新掃描技術(shù)，可進(jìn)行高密度數(shù)據(jù)采集（200點(diǎn)/秒）。該機(jī)安裝了高速掃描測(cè)頭VASTXT，最大掃描速度為70mm/秒，測(cè)量范圍（X、Y、Z）=700mm×1000mm×600mm。該公司開發(fā)的圓度、圓柱形狀測(cè)量機(jī)RONDCOM65A，據(jù)稱可測(cè)量目前世界上可達(dá)到的最高回轉(zhuǎn)精度0.01μｍ，測(cè)量機(jī)上也配有最新的解析程序TIMS，可實(shí)現(xiàn)高速高效率精密測(cè)量作業(yè)，最大測(cè)量直徑為φ420mm，左右送進(jìn)范圍為220mm，上下送進(jìn)范圍為500mm。 　

　　英國(guó)Taylor Hobson公司開發(fā)出一種分離式表面形狀及粗糙度測(cè)量機(jī)，操作、顯示均采用紅外線信號(hào)，因此，可對(duì)驅(qū)動(dòng)測(cè)量部分進(jìn)行遙控。驅(qū)動(dòng)測(cè)量部分采用2μｍ測(cè)頭，測(cè)量范圍為1mm，分辨率為16nm。另外，該公司還開發(fā)出Tarlyrond 265/290系列圓度及圓柱度測(cè)量機(jī)，該機(jī)測(cè)量范圍廣，可對(duì)小至幾mm的微型零件，大至75kg的大型零件，進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量。該機(jī)配有自動(dòng)定心及矯正裝置，立柱可上下移動(dòng)，杠桿可前后移動(dòng)，可對(duì)工件的內(nèi)圓、外徑、端面進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量。Tarlyrond測(cè)量機(jī)采用模塊化設(shè)計(jì)，可根據(jù)不同需要，選擇不同的配置組合。該機(jī)的測(cè)量范圍為φ350～500mm，測(cè)量圓度精度為±（0.04μｍ+0.3μｍ/m）。 　

　　Brown & Sharpe 公司開發(fā)的PMM-C700測(cè)量機(jī)采用不移動(dòng)橋架的結(jié)構(gòu)，從而可長(zhǎng)期保證橋架移動(dòng)型結(jié)構(gòu)難以達(dá)到的高精度和高穩(wěn)定性。該機(jī)的最小分辨率為0.005μｍ，可對(duì)凸輪軸、渦輪葉片等復(fù)雜形狀的機(jī)械零件進(jìn)行高速高精度測(cè)量。 　

　　齒輪形狀曲線復(fù)雜，測(cè)量起來(lái)極為困難。日本大阪精密機(jī)械公司開發(fā)出一種準(zhǔn)雙曲面齒輪測(cè)量機(jī)，型號(hào)為HyB-35，該機(jī)不僅可進(jìn)行三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)那樣的晶格結(jié)點(diǎn)測(cè)量，而且可在線性方面對(duì)輪齒的棱邊進(jìn)行測(cè)量，從而捕捉到導(dǎo)致出現(xiàn)噪聲和振動(dòng)的微細(xì)形狀誤差，以進(jìn)一步提高齒輪精度。 　　

　　分辨率達(dá)到0.1μｍ的刻度尺 　

　　索尼精密工程公司開發(fā)出一種非接觸圖像測(cè)量機(jī)，型號(hào)為YF10。這是一種利用圖像處理技術(shù)的精密測(cè)量機(jī)，機(jī)上配置了數(shù)字?jǐn)z像裝置，采用了全軸分辨率為0.1μｍ的刻度尺；此外，該機(jī)還采用閉環(huán)控制系統(tǒng)，可進(jìn)行高精度測(cè)量。 　

　　三豐公司開發(fā)出一種快速成像接觸測(cè)量系統(tǒng)，可使過去利用CCD的圖像測(cè)量機(jī)功能更加完善，操作更為簡(jiǎn)便。利用此種新型接觸測(cè)頭，也可進(jìn)行非接觸測(cè)量。 　　

　　東京精密公司開發(fā)的便攜式三維測(cè)量系統(tǒng)Optigo，是一種高效高速測(cè)量三維曲面的新型測(cè)量裝置，該裝置配有新設(shè)計(jì)的光學(xué)系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，可對(duì)汽車的門窗，阻尼器等大型零件進(jìn)行高速非接觸測(cè)量。

本篇文章來(lái)源于 “中國(guó)金屬加工在線”