基于感應(yīng)同步器的傳動鏈精密測量系統(tǒng)

一、前　言

　　隨著機械加工技術(shù)的發(fā)展，對機器和執(zhí)行部件的絕對運動、相對運動的均勻性、平穩(wěn)性和準確性的要求愈來愈高。因此，對機械運動部件的運動精度和傳動精度進行精確測量，并據(jù)此采取提高精度的措施，對于提高設(shè)備的加工精度具有重要意義。國內(nèi)外學(xué)者為此進行了大量研究工作，開發(fā)出了多種傳動鏈精度測量儀器^{［2，6，7］}。按儀器采用的傳感器進行分類，傳動鏈精度測量系統(tǒng)可分為以下三種類型：（1）模擬傳感器型測量系統(tǒng)，以地震儀為代表，如德國阿亨工大和成都工具研究所研制的地震儀。該類儀器的特點是靈敏度高，但只能測量小周期誤差，工作頻率也受到一定限制。（2）增量傳感器型測量系統(tǒng)，以光柵、磁柵測量系統(tǒng)為代表。該類儀器的特點是安裝調(diào)整技術(shù)要求較高，在低速和高速測量時工作性能不穩(wěn)定，特別是高精度的激光型測量儀對使用環(huán)境的影響較為敏感。（3）頻率調(diào)制傳感器型測量系統(tǒng)，以采用感應(yīng)同步器的測量系統(tǒng)為代表。由于感應(yīng)同步器結(jié)構(gòu)簡單，抗振耐沖擊，抗干擾能力強，能在不同環(huán)境下工作，因此該類儀器能較好地克服前兩種測量系統(tǒng)的缺點。

二、測量系統(tǒng)的構(gòu)成及工作原理

　　1．系統(tǒng)構(gòu)成

　　傳統(tǒng)的感應(yīng)同步器測量方法可分為鑒幅式和鑒相式兩大類，其共同的工作原理是首先對感應(yīng)同步器施加激磁信號，然后對感應(yīng)信號進行放大，通過測量感應(yīng)信號的幅值或相位來反映定尺和滑尺間的相對位移量。傳統(tǒng)的測量系統(tǒng)大多由分立的模擬元器件組成，使系統(tǒng)精度的提高受到諸多因素的限制^［1］。本文介紹的測量系統(tǒng)采用了差頻和填充二次細分方法，首先對感應(yīng)信號進行差頻處理，再將位移信號轉(zhuǎn)載到一頻率較低的信號上，然后采用微機細分以提高測量精度。采用微機控制的大規(guī)模集成電路完成信號的二次細分，可使系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，可靠性提高，同時數(shù)據(jù)處理也極為方便。測量系統(tǒng)的構(gòu)成如圖1所示。

圖1　測量系統(tǒng)的構(gòu)成

　　2．細分原理

　　利用微機對感應(yīng)同步器的感應(yīng)信號進行細分的原理是基于差額細分和填充細分。感應(yīng)同步器由滑尺和定尺組成。用正弦波信號對滑尺兩相繞組進行激磁，繞組上激磁信號的幅值相等，相位相差90°，兩路信號分別為

　　　　　　　�。�1）

式中　U_m——激磁信號幅值

　　　ω——激磁信號角頻率

　　一般選取激磁信號頻率為2～10Hz。

　　定尺上的感應(yīng)電勢為

e_x＝A_msin2π（f₀＋f_x）t　　　　　　　�。�2）

式中　A_m——感應(yīng)同步器的傳遞系數(shù)

　　　f₀——激磁頻率

　　　f_x——由移動速度決定的瞬時位移頻率

　　由式（2）可得出以下結(jié)論：

　�。�1）感應(yīng)電勢e_x為定尺繞組輸出信號，是一個正弦信號，其瞬時頻率為f₀±f_x。

　�。�2）可以認為輸出信號由兩部分組成，即頻率為f₀的激磁信號和定尺相對滑尺移動時產(chǎn)生的運動頻率為f_x的信號。

　�。�3）由于滑尺兩相繞組在空間相差90°，定尺相對滑尺的移動方向不同，則混頻情況也不同�；祛l的一般通式為

f_d＝f₀±f_x　　　　　　　�。�3）

　　設(shè)感應(yīng)同步器極距為p（mm），定、滑尺間的相對移動速度為v（mm／s），在時間t內(nèi)，定、滑尺間的相對位移為s，則有

f_x＝v／p　　　　　　　　（4）

　　由于v＝ds／dt，即ds＝vdt，由式（4）可得ds＝pf_xdt，因此位移量s可表示為

　　　�。�5）

　　實際測量時，通過計數(shù)器在時間t內(nèi)的計數(shù)來完成的計算。

　　3．差頻細分

　　根據(jù)上述分析，為了提高細分精度，就必須提高細分頻率和采用高速計數(shù)器。由于提高細分計數(shù)速度比較困難，因此可采取降低激磁頻率的方法。但由于激磁頻率受感應(yīng)同步器工作頻率的限制，取值不能太低，為此可采用差頻技術(shù)來增大T值，在細分頻率一定的情況下提高細分精度。

　　由式（3）或式（2），混頻信號通過乘法器相乘后得到

　　e_ω＝c_msin［2π（f₀＋f_i＋f_s）＋2π（f₀＋f_i－f_s）］t　　　　　　　�。�6）

　　由式（6）可獲得f＝（f₀＋f_i）±f_s信號。由于f₀和f_i比較接近，通過低通濾波將高頻信號濾掉，獲得的低頻信號為

f_d＝f₀－f_i＋f_s　　　　　　　　（7）

　　若適當選取f₀和f_i值，可獲得頻率較低的f_d值，從而可以顯著提高細分精度。

三、測量系統(tǒng)主要軟、硬件的實現(xiàn)方法

　　在設(shè)計差頻數(shù)字細分測量系統(tǒng)時，應(yīng)綜合考慮硬件及軟件功能，使系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、可靠性高。系統(tǒng)硬件主要包括：（1）激磁及差頻電路；（2）細分計數(shù)電路；（3）鍵盤、顯示及打印機接口電路；（4）存貯器及D／A轉(zhuǎn)換接口電路。系統(tǒng)軟件采用模塊化設(shè)計，主要模塊有：（1）監(jiān)控管理程序；（2）測量程序；（3）數(shù)據(jù)處理程序；（4）打印、輸出程序。

　　1．激磁及差頻電路

　　電路組成如圖2所示。激磁信號頻率為f₀，由8254通道0產(chǎn)生；參考信號頻率為f_c，由8254通道1產(chǎn)生。通道0和1均工作于方式3（分頻器工作方式）。方波信號f₀經(jīng)過激磁電路變?yōu)榉�值相等、相位差�?0°的正、余弦信號，分別加到感應(yīng)同步器滑尺兩相繞組上。另一路方波信號f_c經(jīng)過濾波后變?yōu)橥�相頻淬正弦信號，然后與前放輸出的復(fù)合信號f₀±f_v進行差頻。差頻電路輸出信號頻率為f_d＝（f₀－f_c）±f_v，信號經(jīng)放大、整形后送入計數(shù)電路。

圖2　激磁及差頻電路

　　2．細分計數(shù)電路

　　細分計數(shù)電路如圖3所示。8254（Ⅰ）的計數(shù)器2和8254（Ⅱ）的計數(shù)器2均工作于方式3，分別對脈沖信號和時鐘信號f_d進行計數(shù)，采樣信號到時由軟件鎖存其計數(shù)值。8254（Ⅱ）的通道1工作于方式5，遇到f_d上升沿時觸發(fā)計數(shù)器0開始計數(shù)，采樣信號到時自動關(guān)閉計數(shù)器，其計數(shù)值即為細分計數(shù)值。系統(tǒng)采用二片8254即可完成數(shù)字細分比相，既簡單又可靠。

　　系統(tǒng)還擴展一片8155接口芯片，作為鍵盤、數(shù)碼顯示以及打印機的接口；擴展一片DAC0832芯片用于模擬量輸出。測量結(jié)果可通過示波器觀察或者由函數(shù)記錄儀實時記錄。

圖3　細分計數(shù)電路

四、實際應(yīng)用

　　本測量系統(tǒng)具有較大柔性，可用于多種測量目的。當需要測量不同對象時，不需對系統(tǒng)硬件作大的改動，只需編制不同的軟件即可。該系統(tǒng)已成功應(yīng)用于以下測量項目：

　�。�1）單個運動部件位置精度檢測。已研制開發(fā)出新型感應(yīng)同步器微機數(shù)顯表^［3］，其測量精度達1μm；與航天部637所合作研制開發(fā)了雷達天線座綜合測角儀，角度定位精度達±1角秒。

　�。�2）兩個運動部件相對運動精度（傳動精度）檢測。已開發(fā)出滾齒機傳動鏈精度檢查儀、三爪卡盤平面螺紋精度動態(tài)檢查儀^［4］和車床傳動鏈精度測量儀。

　�。�3）控制補償系統(tǒng)的測量反饋。已應(yīng)用于滾珠絲杠螺紋磨床補償控制系統(tǒng)、盤絲磨床磨削補償控制系統(tǒng)^［5］以及滾齒機加工補償控制系統(tǒng)^［6］的測量反饋部分。該測量系統(tǒng)為設(shè)備精化改造、提高產(chǎn)品加工精度提供了一種有效的技術(shù)手段，解決了實際生產(chǎn)中的許多技術(shù)難題，取得了十分良好的應(yīng)用效果。